我公司生產的TXRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產線行業以及PECVD化學氣相沉積工藝所產生的廢氣。

本產品在結構上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統、洗滌系統和清渣系統組成。在進氣方面采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產品運行效率和可靠性。在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產品在安全可靠性方面得到極大保證。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經權威部門實測，客戶單位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%，氨氣(NHs)以及其它水溶性氣體的凈化率高達99.99%。